氣動量儀數據誤差的表明方法有二種：以數值表明，就是以測定得數值與具體值之差表明，以這類方法表明的出現偏差的原因稱之為誤差；以比率表明，就是以誤差與具體值之比表明，以這類方法表明的出現偏差的原因稱之為相對偏差，比如用激光干涉儀測長時，與其較大 相對偏差為千萬分之一，則表明在要求標準下，測量一米長短的出現偏差的原因應不超0.1微米。

氣動量儀測量結果與被測長短真值的一致水平以表明。它是正確度和精度的綜合性，一般通稱為精密度。若已調整系統誤差，則常見不確定度來表明。不確定性氣動量儀測量度表明因為存有數據誤差而對所測量值不可以毫無疑問的水平，以相對標準偏差表明其尺寸。

氣動量儀測量中，常把數次測量被測長短后個人所得的數據信息取算數平均值做為測量結果。那是由于依據摡率論的大數定律，假如測量頻次充足多，那么就可以提升 精度。測量全過程中隨機偏差的出現，大部分是遵照標準正態(tài)分布規(guī)律性的。

除此之外，氣動量儀也有對測量個人所得數據信息開展數學運算以獲得所需測量結果的數據處理方法。比如，用氣動量儀量同心度，立即得到的數據信息是相對性某一圓心點的半經轉變，因而須按同心度界定作相對的涵數計算才可以獲得同心度出現偏差的原因。